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該產品主要適用於近空間升華法（fǎ）製備樣品（pǐn）薄膜（mó），例如CdTe和CdS薄膜。設備結構上采用雙管（guǎn）結構，外（wài）管直徑為110mm，一端（duān）封閉，內管直徑為90mm。工（gōng）藝氣氛從外管通入，內（nèi）管流出，使（shǐ）得氣氛更充分地與樣（yàng）品接觸。通過爐膛左右移動實現快（kuài）速升降溫。
結構特（tè）點：
1. 爐（lú）膛內（nèi）采用上下兩（liǎng）層加熱結構，分別負責襯底和源（yuán）的加熱。加熱元（yuán）件為雙絲（sī）鹵鎢紅外（wài）燈管。
2. 爐膛加熱到用戶設定的時（shí）間（jiān）後自動移開，實現（xiàn）快速降溫。
3. 實驗完成後可將放料托架打開，將石英外（wài）管移動到左端，露出樣品可方便取放（fàng）。
4. 7英寸觸摸屏操作，設定曲線實時顯示。
5. 本（běn）方案采用兩塊石墨板對樣品襯底和源進行分別均熱，上下層熱電（diàn）偶探（tàn）頭分別插入（rù）石墨板內進行控溫，使（shǐ）得兩部分的溫度均勻性分別達到（dào）3℃以內。
| 項目： | 參（cān）數 |
| 真空： | 極（jí）限真空度≤10-3Pa(需配分子泵機組）係統抽真（zhēn）空能力（大氣到（dào）10-2Pa）≤5min |
| 真空獲取： | 采用（yòng）分子泵機組真空係統達到≤10-3Pa，或2L直聯旋（xuán）片式機械泵達到≤10Pa |
| 真空計： | 皮拉尼高精度真空計（最低顯示（shì）1×10-3Pa） |
| 加熱方式： | 燈（dēng）管紅外加熱 |
| 最高（gāo）溫度： | 800℃ |
| 升溫速率： | 10℃/s |
| 降溫速率： | 1、可控降溫（軟件（jiàn）自動控製）；2、自然冷卻（què）（移走加熱爐膛） |
| 溫（wēn）控（kòng）精（jīng）度： | ≤±1℃ |
| 溫控方式： | 分區加熱，分區控溫。如圖所示，襯（chèn）底（dǐ）加熱與源加熱分離，獨立控溫。石墨塊內有（yǒu）測（cè）溫點，可監控基（jī）板溫（wēn）度。平台三個部分可獨立移動。基板（實驗樣品） |
| 尺寸： | 3inch×3inch |
| 溫控係統： | 可實現精確自（zì）動控（kòng）溫，10段升降溫程序，預存100條以上曲線 |
| 測溫方式： | K型熱電偶 |
| 控溫點： | 2個（上下石墨勻熱板） |
| 測溫點： | 3個臨（lín）時測溫點，可通過法（fǎ）蘭（lán）處插入到腔（qiāng）內不同位置，用來檢測腔體溫度分布。 |
| 恒溫區（qū）： | 100mm（處（chù）理1片3inch×3inch基板） |
| 恒溫區爐溫（wēn）均勻性： | ±3℃ |
| 溫度自動補償功能： | 溫控儀增加環境溫度自動補（bǔ）償功能 |
| 工藝氣氛： | O2,N2，幹（gàn）燥空氣，3路供（gòng）氣（可實現氣氛不同比例混合） |
| 氣（qì）體（tǐ）控製（zhì）： | O2：0~500sccm 精度：±1.0%F.S. N2：0~500sccm 精（jīng）度：±1.0%F.S.幹燥空氣：0~1000sccm 精度：±1.0%F.S. |
| 冷卻循環水： | 連（lián）接法蘭（8mm寶塔接頭） |
| 樣品冷卻： | 爐（lú）膛自動移開，強製風冷 |
| 額定功率： | 220V,15kw |
| 外形尺寸： | 長920×深500×高560 |
