該型號PECVD為整體精簡款，綜合了國內大多數廠家的管式PECVD係統的優點，觸摸屏集中一鍵控製（zhì），實驗證（zhèng）明此結構沉積速度快，成膜質量好，針孔較少，不易龜裂。而（ér）且控製部分（fèn）采用（yòng）了自主研發的實驗電爐AIO全自動智能控製係統，使得操作（zuò）更加簡便（biàn），功能更（gèng）加強大。

主要（yào）特點：

1. 管內真空度自動平衡——管內真空度實時監測，自動平衡。PECVD工藝要求石英管內真空度通常在0.1～100Pa之間，該型號PECVD的（de）AIO控製係統會通過真空泵的自動啟停來（lái）維持用戶設定的管內真空度（dù），使成膜效果達最（zuì）佳的均勻性。

2. AIO控製係統——加熱控製、等離子射頻控製、氣體流量控製、真空係統控製集中於（yú）一（yī）個7英寸觸摸屏（píng）進行統一集中調節和（hé）操控，協調控製——成儀AIO控製係統；

3. 射頻功率的定時控製——預先設定好功率的大小（xiǎo）和打開與關（guān）閉的（de）時間，自動運行；

4. 爐（lú）膛移動速度可調——根據實驗要求，用戶可（kě）設定爐膛左右移動的速（sù）度可距離，在沉積結束後爐膛可自動移開沉積區，使樣（yàng）品快速冷卻；

5. 整機結（jié）構融為一體——整（zhěng）機長度隻有1.5米，移動方便，避免分散組裝的困擾。