近空間升華爐
近空間升華設備-對(duì)開式
型號:QJ-RTP1000JD
用途:利用近空間升華法製備CdTe薄膜和CdS多(duō)晶薄膜
規格:爐管(guǎn)規格Φ150*700mm
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該設(shè)備實在簡易型近空間升華爐的基礎上改進而來(lái),溫區更(gèng)長,管徑更大,對開式結構溫場對稱性更好,散熱(rè)更快。源坩堝和襯底總成分(fèn)別放置在兩個石英托架內,放置在爐膛內部的(de)石(shí)英管軌道上。

1. 爐膛開(kāi)門結(jié)構分為左右兩個獨立單元,上下兩排燈管分別獨立控溫,加(jiā)熱結束後爐膛均可(kě)通過按鈕控製或自動分開成兩半,管子暴露在室溫(wēn)環(huán)境下,底部兩個風扇(shàn)強製風冷對其散熱。

2. 主爐體下(xià)方分為兩個區域,分別為電器控製部分和真空部分。電器控(kòng)製部分內有溫控電路和機械動作控製器等。真空部分包含一台直聯旋片式機械(xiè)真空泵、數顯真空計和正壓保護電路。

3. 石英管固定通過兩(liǎng)端法蘭(lán)上的支撐固定架與爐體(tǐ)螺栓固(gù)定連接(jiē),保證管子和法蘭位置始終不變。


爐膛(táng)模式: 前後移動開啟式爐膛
顯示模式(shì): 7英寸觸摸屏
加熱元件: 短紅外波燈管,上下(xià)水平麵獨立加熱
工作溫度: ≤800℃
升溫速率: 10℃/s
樣品移動:
溫區長度: 300mm(恒溫區100*100mm)
溫度均(jun1)勻性(xìng): ≤±3℃
爐管規格: Φ150*700mm
控溫精度: ±1℃
密封方式: 快速法蘭密封
儀(yí)表(biǎo)補償: 室溫自動補償
溫度曲線: 10段"時間—溫(wēn)度曲線"任意可設,預存100條工藝曲線
外(wài)殼溫度: ≤50℃(室溫(wēn)≤25℃)
超溫報警:
過流保護:
斷偶提示:
測溫元件: K型鎧裝熱電偶
爐膛材料: 氧化鋁纖(xiān)維
外形尺寸: 1100*800*1300MM
整機功率: 20kw
電源參數: 220V 50Hz
真空與氣氛:
抽真空能力: 大氣到≤5Pa小於5min
氣壓範圍: 10-3Pa~105Pa,機械泵(bèng)極限≤5Pa
泄漏(lòu)率(lǜ): ≤5-4(Pa*m3/s)
真空計範圍: 大氣到10-4Pa,最(zuì)大分辨率0.01Pa
氣路係(xì)統:
1路進氣口,內有(yǒu)管(guǎn)道布氣(qì)。:
超壓保護(≥1atm),根據設定壓(yā)力值自動排氣:
其它功能:
溫度數據(jù)存儲: 可存儲大於3個月的數據
數據導出: U盤導出excel或csv格式
工藝曲線: 觸摸屏可顯示設定曲線預(yù)覽
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