快(kuài)速鏈接
該設(shè)備實在簡易型近空間升華爐的基礎上改進而來(lái),溫區更(gèng)長,管徑更大,對開式結構溫場對稱性更好,散熱(rè)更快。源坩堝和襯底總成分(fèn)別放置在兩個石英托架內,放置在爐膛內部的(de)石(shí)英管軌道上。
1. 爐膛開(kāi)門結(jié)構分為左右兩個獨立單元,上下兩排燈管分別獨立控溫,加(jiā)熱結束後爐膛均可(kě)通過按鈕控製或自動分開成兩半,管子暴露在室溫(wēn)環(huán)境下,底部兩個風扇(shàn)強製風冷對其散熱。
2. 主爐體下(xià)方分為兩個區域,分別為電器控製部分和真空部分。電器控(kòng)製部分內有溫控電路和機械動作控製器等。真空部分包含一台直聯旋片式機械(xiè)真空泵、數顯真空計和正壓保護電路。
3. 石英管固定通過兩(liǎng)端法蘭(lán)上的支撐固定架與爐體(tǐ)螺栓固(gù)定連接(jiē),保證管子和法蘭位置始終不變。
爐膛(táng)模式: | 前後移動開啟式爐膛 |
顯示模式(shì): | 7英寸觸摸屏 |
加熱元件: | 短紅外波燈管,上下(xià)水平麵獨立加熱 |
工作溫度: | ≤800℃ |
升溫速率: | 10℃/s |
樣品移動: | 無 |
溫區長度: | 300mm(恒溫區100*100mm) |
溫度均(jun1)勻性(xìng): | ≤±3℃ |
爐管規格: | Φ150*700mm |
控溫精度: | ±1℃ |
密封方式: | 快速法蘭密封 |
儀(yí)表(biǎo)補償: | 室溫自動補償 |
溫度曲線: | 10段"時間—溫(wēn)度曲線"任意可設,預存100條工藝曲線 |
外(wài)殼溫度: | ≤50℃(室溫(wēn)≤25℃) |
超溫報警: | 有 |
過流保護: | 有 |
斷偶提示: | 有 |
測溫元件: | K型鎧裝熱電偶 |
爐膛材料: | 氧化鋁纖(xiān)維 |
外形尺寸: | 1100*800*1300MM |
整機功率: | 20kw |
電源參數: | 220V 50Hz |
真空與氣氛: | |
抽真空能力: | 大氣到≤5Pa小於5min |
氣壓範圍: | 10-3Pa~105Pa,機械泵(bèng)極限≤5Pa |
泄漏(lòu)率(lǜ): | ≤5-4(Pa*m3/s) |
真空計範圍: | 大氣到10-4Pa,最(zuì)大分辨率0.01Pa |
氣路係(xì)統: | |
1路進氣口,內有(yǒu)管(guǎn)道布氣(qì)。: | |
超壓保護(≥1atm),根據設定壓(yā)力值自動排氣: | |
其它功能: | |
溫度數據(jù)存儲: | 可存儲大於3個月的數據 |
數據導出: | U盤導出excel或csv格式 |
工藝曲線: | 觸摸屏可顯示設定曲線預(yù)覽 |