該設備將真空/氣（qì）氛、高溫燒結（jié）結合在一起，是我公司（sī）專（zhuān）門陶瓷金屬化霧化芯行業、晶圓加熱板行（háng）業研發（fā）的一款高真空氫（qīng）氣燒結爐（可真空燒（shāo）結也可通氫氣燒結）；該設（shè）備具有超高的溫場均勻度，多重的安全（quán）保護結構、精準的控（kòng）製精度，合理結構及控製係統設計可以讓生產更（gèng）加安全高效，節省人（rén）力及工藝成本、提高生產效率。