等離（lí）子體發生裝置-PECVD等離子化學氣相沉澱係統-實驗電（diàn）爐（lú）、馬（mǎ）弗爐、管式爐（lú）、回轉爐、真空氣氛爐-江蘇前錦爐業設備有限公司

PECVD等離子化學氣相沉澱係統

等（děng）離子（zǐ）體發生裝（zhuāng）置

型（xíng）號：QJ-PE300
用途：普通（tōng）管式爐（lú）加裝改造成等離子增強型PECVD設備
規格：500W
特點：高低可調，適配低成（chéng）本改造所有（yǒu）管式爐

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該（gāi）設備專為實驗（yàn）室已有（yǒu）普通管式（shì）爐的用戶（hù）開發而成，僅需要用戶提供一下管子高（gāo）度和直徑（jìng）即可改造（zào）。底部配備可移動爐架，方便移動和擺放位置。等離子體發（fā）生器的電源功率（lǜ）有100、200、300、500、1000W等功率可選，射頻功率自動匹（pǐ）配，僅需一鍵（jiàn）操作即可啟輝（huī）。

射（shè）頻電（diàn）源（yuán）功（gōng）率：
信號頻率：	13.56 MHz±0.005%
功率輸出範圍：	5W-1000W可選
功率穩定度：	±0.1%
整（zhěng）機（jī）效率：	>=70%
功率因數：	>=90%
冷卻方式：	強製風冷（lěng）
真空部分：
功率：	300W
抽氣速率：	2Ls
極限（xiàn）真空（kōng）：	4X10-2Pa
氣路係統（tǒng）：
3路質量流量計（jì）可選（xuǎn）：
準確度：	±1.5%
重複精度：	±0.2%
工作壓差（chà）範（fàn）圍：	0.1～0.5 MPa

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